新能源清洁车间
沙巴足球(中国)股份有限公司官网，专业承接各行业车间无尘无菌净化工程，电话：13305346159一、详细介绍
沙巴足球(中国)股份有限公司官网，专业承接各行业车间无尘无菌净化工程，电话：133053461591.光伏新能源硅晶片简介
光伏新能源硅晶片是由硅材料加工而成的一个像镜子一样明亮的圆片，是生产半导体集成电路芯片的原材料。目前，微电子产业发展迅速，集成电路技术已进入0.18微米以下的时代极大地刺激了光伏新能源硅晶片的发展，大大提高了对光伏新能源硅晶片性能参数的要求。因此，光伏新能源硅晶片的发展前景十分乐观。
沙巴足球(中国)股份有限公司官网，专业承接各行业车间无尘无菌净化工程，电话：133053461591.1 光伏新能源硅晶片的生产工艺
从大的方面来讲，光伏新能源硅晶片生产包括硅单晶棒生产和光伏新能源硅晶片生产两大部分，细分为以下几道主要工序：
单晶棒生长-单晶棒切割检测-外径磨削-切片-倒角(圆边)-研磨/研磨片检测-蚀刻(化学蚀刻)LP-CVD AP-CVD 等工艺)-PTA热处理-背损伤处理-抛光(ML粗抛、ML精抛-洗涤-质量检验-清洁包装 从单晶棒生长到外径磨削到硅单晶棒生产工艺，切片后的工艺为光伏新能源硅晶片生产工艺。以硅片厂为例，介绍了空调净化系统和自动控制系统的设计方案。
沙巴足球(中国)股份有限公司官网，专业承接各行业车间无尘无菌净化工程，电话：133053461591.2 各生产工序环境控制要求
硅片厂生产4~6寸光伏新能源硅晶片，产量480万片/年。本公司光伏新能源硅晶片用于制造分立器件、功率元件和特殊集成电路。
沙巴足球(中国)股份有限公司官网，专业承接各行业车间无尘无菌净化工程，电话：133053461592.空调净化系统
空调净化的设计与工艺布局和生产工艺紧密结合。不同类型和用途的工厂空调净化系统各有特点。以下是光伏新能源硅晶片生产工艺的空调净化系统方案。
沙巴足球(中国)股份有限公司官网，专业承接各行业车间无尘无菌净化工程，电话：133053461592.1 空调系统
1 切片室、倒角室、研磨室只有温度控制要求，有风冷热泵分体柜式空调(PAC)为了保证房间的温度要求，室内机就近放置在车间内，连接风管，采用双层百叶风口侧送风方式；室外机放在屋顶上。切割室排气量大，新风采用直接蒸发式热泵屋顶空调S1-1和S1-2补充。车间有防尘要求，中效空气过滤器设置在风冷热泵分体柜式空调回风口(大气尘计数效率:≥60%，对于≥1μm颗粒)，同一屋顶空调需要两级过滤器。
原理图见图：
2 炉室、BSD室内只有温度控制要求，有风冷电热分体柜式空调(PAL)为了保证房间的温度要求，室内机就近放置在车间内，连接风管，采用方形散流器顶部送风方式；室外机放置在屋顶上。新鲜空气由相邻的洁净室正压。车间有防尘要求，风冷电热分体柜式空调出风口设置中效过滤器（大气尘计数效率：≥60%，对于≥1μm粒子)。
3 磨片检查室对温湿度控制有要求，配有风冷电热分体柜式空调(PAL)为保证室内温度要求，室内机就近放置在车间内，连接风管，采用方形散流器顶部送风方式；室外机放置在屋顶上。新风通过新风机组(MAU-1、2）处理后，将送风管送至室内，相对湿度由新风机组保证。新风机组与净化系统共用。车间有防尘要求。风冷电热分体柜式空调回风口设有中效过滤器（大气粉尘计数效率：≥60%，对于≥1μm颗粒)，新风机组内设置粗、中效过滤器。
沙巴足球(中国)股份有限公司官网，专业承接各行业车间无尘无菌净化工程，电话：133053461592.2 净化系统
新风空调机组用于光伏新能源净化工程系统(MAU)循环空调机组(AHU)的冷媒采用6-11℃冷冻水用0加热.2MPa蒸汽，加湿0.1MPa清洁蒸汽加湿，清洁蒸汽由纯水通过清洁蒸汽发生器产生。
1 CP室内净化等级为7级，通风次数为30次/小时，CP室内工艺设备酸量大，采用全新风空调机组(MAU-3) 高效过滤器送风口(HEP-ABOX)空调方式。气流流程为：新风入口-粗过滤器-中效过滤器-预加热器-表面冷却器-加热器-清洁蒸汽加湿-送风机-送风管-高效过滤器送风-清洁区。
2 ML室内净化水平为7级，通风次数为30次/小时，采用新风机组(MAU) 循环机组(AHU) 高效过滤器送风口(HEPABOX)空调方式。新风与其他系统共用MAU-1、2新风组。
3 CP/CVD室、LP/CVD洁净包装室净化水平为6 级，换气次数取为50次/小时，采用新风机组(MAU) 循环机组(AHU) 高效过滤器送风口(HEP-ABOX)空调方式。新风与其他系统共用MAU-1、2新风组。
4 7级、6 一级无尘室采用的气流形式是顶部高效过滤器出风口，房间侧下百叶窗出风口回风。气流过程为：新回风混合！中效空气过滤器-表面冷却器-送风机-送风管-高效空气过滤器出风口-洁净区-房间侧下百叶窗出风口-回风管-新回风混合。
5 质量检验室的净化水平为7 采用新风机组(MAU) 循环机组(AHU) 风机过滤单元(FFU))空调方式。顶部采用气流形式FFU送风，房间侧下百叶风口回风。FFU满布率为33%，洗净室、质量检验室对NH4 、SQx循环机组需要浓度(AHU)增加化学过滤器。5级净化室的气流过程为：新回风混合化学过滤器(NH4 )-化学过滤器(SQx)-中效过滤器-表冷器-送风机-送风管-送风静压箱-风机过滤单元(FFU)-洁净区-房间侧下百叶窗回风口-回风管-新回风混合。新风与其他系统共用MAU-1、2新风组。
6 除CP室外洁净室所需新风采用2台新风机组(MAU-1.2)集中处理，新风集中处理后送至各循环机组(AHU)。气流流程为：新风入口-粗过滤器-中效过滤器-预加热器-表面冷却器-加热器-清洁蒸汽加湿-送风机-送风管-循环空调机组(AHU)。
7 CP室、ML房间和洗净室的酸度相对较高，CP室、ML室内高效过滤器出风口的扩散板采用不锈钢板制成，室内清洗FFU网板由不锈钢板制成。
8 需要注意的是，质量检验室根据工艺要求采用黑色墙板、黑色顶板，相应采用黑色回风口，FFU网板需要黑色网板。
沙巴足球(中国)股份有限公司官网，专业承接各行业车间无尘无菌净化工程，电话：133053461593、净化系统的空调自动控制
新风机组(MAU-1.2)变频器由总送风管上的静压传感器控制。接入每个风量和正压控制循环机组(AHU)电动调节阀设置在新风管上，电动调节阀的开度由每个洁净室的正压值调节，使洁净室的正压值不随生产设备的排气量而变化。电动调节阀的开度变化导致总送风管上的静压变化，并根据其设定值进行调节AHU-1、2风扇频率，以达到控制的目的。
沙巴足球(中国)股份有限公司官网，专业承接各行业车间无尘无菌净化工程，电话：133053461593.1 净化车间/无尘车间的温湿度控制
无尘车间的湿度由新风机组净化生产MAU-1.2确保控制新风机组的送风状态点，据送风状态设定值调整干蒸汽加湿器电动执行机构和表面冷却器和加热器回水管上电动二通阀的开度。露点温度DPT检查室内湿度敏感元件HE连续固定。无尘车间的净化生产温度由循环机组决定AHU表冷器回水管上的电动二通阀开度应根据室内温度进行调整。
沙巴足球(中国)股份有限公司官网，专业承接各行业车间无尘无菌净化工程，电话：133053461593.2 冷却系统控制
冷冻水系统采用一级泵，通过负载控制确定冷却机组及相应水泵和冷却塔的开启台数。供水和回水压差根据设定供水和回水压差自动控制，回水主管之间的压差流量旁路阀。
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沙巴足球(中国)股份有限公司官网，专业承接各行业车间无尘无菌净化工程，电话：13305346159二、过滤效率：
大气尘计数效率：≥60%，对于≥1μm粒子)
沙巴足球(中国)股份有限公司官网，专业承接各行业车间无尘无菌净化工程，电话：13305346159三、产品特点：
目前，微电子产业发展迅速，集成电路技术已进入0.18微米以下的时代极大地刺激了光伏新能源硅晶片的发展，大大提高了对光伏新能源硅晶片性能参数的要求。
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沙巴足球(中国)股份有限公司官网，专业承接各行业车间无尘无菌净化工程，电话：13305346159四、应用场所：
食品、化妆品、饮料产品生产、动物实验室、物理化学实验室、血站、细菌学、生物学、清洁实验室、物理工程（基因重组、疫苗制备）等行业。
安徽空气净化工程有限公司是一家专注于无尘车间的公司GMP车间、无菌车间、洁净实验室、医疗手术室等净化工程洁净室系统的研发、设计、施工、升级、售后解决方案服务提供商。以安徽为基础，服务全国，工程质量要求高，为客户提供高质量的客户服务，改善洁净室环境，创造国内专业高端安全舒适的实验室手术室环境，优质品牌打造优质工程，决心成为中国净化工程行业的优质品牌。
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