半导体无尘车间或洁净区只布置必要的工艺设备，以及有空气清洁度等级要求的工艺和洁净设备。半导体无尘车间工程工艺布车间设计综合考虑协调，布局合理紧凑。在满足生产工艺要求的前提下，空气洁净度高的半导体无尘车间洁净室或洁净区应靠近空调室，空气洁净度等级相同的工序和工作室应集中布置，空气洁净度等级低的工作室应靠近洁净区人口。净化无尘车间工程中空气清洁度高的工序应布置在上风侧，易污染的工艺设备应布置在靠近回风口的位置。应考虑大型设备安装维护的运输路线，并预留设备安装口和维修口。
半导体无尘车间工程周围的道路面层应选用完整性好、粉尘少的材料。应设置环形消防车道（可使用的交通道路）。如有困难，可沿工厂两个长边设置消防车道。无尘车间工程周围应进行绿化。草坪可以铺设，树木对大气粉尘浓度没有有害影响，形成绿色社区。但不得妨碍消防操作。
半导体无尘车间工程应远离码头、机场、交通要道、工厂、仓库、堆场等有严重空气污染、振动或噪声干扰的区域，排放大量粉尘和有害气体。如果不能远离严重的空气污染源，应位于其大频率风向上风侧或全年小频率风向下风侧；
半导体无尘车间工程应布置在环境清洁、人流、货流不交叉或少穿越的地区。半导体无尘车间工程与交通干道的距离不小于50米。对于具有微振动控制要求的半导体无尘车间工程的位置选择，应实际确定周围现有振动源的振动影响，并与准确的设备和准确的仪器进行分析和比较。当半导体无尘车间工程中高频风向上风侧有烟囱时，半导体无尘车间工程与烟囱的水平距离不得小于烟囱高度的12倍。
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